德國Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法

 掃描方法

光電掃描
海德漢的大多數光柵尺采用光電掃描原理。光電掃描為非接觸式掃描，因此無磨
損。光電掃描可以檢測到非常精細的光柵，柵線寬度僅數微米，生成的輸出信號的信號周期非常細小。
ECN、EQN、ERN、ROC、ROQ和ROD旋轉編碼器采用成像掃描原理。
簡單地說，成像掃描原理是用透射光生成信號；例如用兩個柵距相同柵狀結構（柵尺與掃描掩膜）彼此相對地運動。掃描掩
膜為透明基體。測量基準上的柵狀結構可在透明面上，也可在反光面上。
當平行光穿過光柵時，投影形成一定的間隔的明/暗光影區。柵距相同的掃描光柵位
于柵狀結構投影的成像位置。當這兩個柵狀結構相對運動時，調制入射光：如果狹縫對齊，光線通過。如果一條柵線與另一
個上的狹縫對齊，光線無法通過。光電池將這些光強變化轉化成近似正弦波形的電信號。采用成像掃描原理的編碼器可用較大的安裝公差，小柵距可達10 μm。

 用該掃描原理的式旋轉編碼器的光電池是大型、精細的柵狀光電池，而不是一組分立的光電池。光電傳感器的柵狀結寬度與測量基準柵狀結構的寬度相同。因此無需具有相同柵狀結構的掃描掩膜。

其它掃描原理
ECI/EBI/EQI和RIC/RIQ旋轉編碼器采用感應式測量原理。感應掃描中，柵狀結構調
制高頻信號的幅值和相位。通過圓周掃描，位置值信號全部由沿圓周均勻分布的接收線圈生成。

德國Heidenhain編碼器LC193F-640-9掃描方法