HEIDENHAIN光柵尺LS476 ML470 ID:329986-7K

測量原理
測量基準
海德漢光學掃描的直線光柵尺或編碼器的測量基準都是周期刻線－光柵。
這些光柵刻在玻璃或鋼材基體上。對于大長度的光柵尺，用鋼帶作為光柵尺基體。
海德漢公司用以下特別開發的光刻工藝制造精密光柵。
• AURODUR：在鍍金鋼尺帶上蝕刻柵線；典型柵距：40 µm
• METALLUR：抗污染的鍍金層金屬柵線；典型柵距：20 μm
• DIADUR：玻璃基體上超硬鉻線（典型柵距：20 μm）或玻璃基體上三維鉻線格柵（典型柵距：8 μm）
• SUPRADUR相位光柵：光學三維平面格柵；*抗污能力；典型柵距：不超過8 μm
• OPTODUR相位光柵：光學三維平面格柵，超高反光性能；典型柵距：不超過2 μm
除極小柵距外，由該工藝刻制的光柵擁有優異的邊緣清晰度和均勻性。結合光電掃
描法，邊緣清晰的刻線是輸出高質量信號的關鍵。
母版光柵采用海德漢公司定制的精密刻線機制造。

 測量法
式測量是指光柵尺或編碼器在通電時立即提供位置值并隨時供后續電子電路讀取。無需移動軸執行參考點回零操作。絕
對位置信息由一系列碼編排的光柵讀取。單獨的增量刻軌信號通過細分生成位置值，同時用于生成可選的增量信號。

HEIDENHAIN光柵尺LS476 ML470 ID:329986-7K